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这人是名年约五旬的老者,头发花白却精神矍铄,缓缓站起身,笑着对他说:

“姜先生你好。

我是军、工、工程师,您可以叫我张工。

我旁边这位,是军方技术负责人陈将军。”

他指了指身旁,穿着少将制服的中年男人,对方微微颔首,

“之所以打断你,是想问问,

难道,你这次没有准备纸质资料,或者电子档案吗?

我们也好对照记录。”

听到张工的询问,姜明偷偷瞥了一眼,主座上的江老,见老爷子脸色沉了沉,无奈解释:

“张工,实在抱歉。

我这不是刚把消息告知江老,还没来得及准备,就被他‘提溜’过来了嘛。”

他故意加重了“提溜”二字,

引得旁边的陈将军,嘴角微微上扬,

“我都说了,

给我点时间,先把研究所注册好,可老爷子的命令太大,我不敢违背呀。”

主位上的江老听到这话,

顿时冷哼一声,

却没再多说什么——这小子,还敢倒打一耙。

众人听了姜明的解释,这才恍然大悟,

会议室里的严肃气氛缓和了些。

张工笑着摆了摆手:

“哦,那是我误会姜先生了。

那么接下来,就辛苦你把5纳米和6纳米,光刻机的基础参数,跟我们说说,

我们这边做实时记录。”

他拿起笔,眼神里带着期待——要是这参数真能落地,

我国的芯片技术,就能往前迈一大步。

姜明点点头,指尖无意识地在桌沿轻点,

开始精准报出数据:

“先讲5纳米机型。

核心的激光光源波长,是13.5纳米极紫外光,数值孔径0.33。

工作台最高移动速度,能到每秒300毫米,

定位精度必须控制在正负2纳米以内,

多一丝都不行,

这是保证芯片良率的关键。”

张工手里的笔,在笔记本上飞速滑动,笔尖在纸上划出“沙沙”声,

听到“正负2纳米”时,他猛地抬头,

眼里闪过一丝震惊,

随即追问:

“曝光系统的功率和透镜材料呢?

这俩参数,对后续调试影响很大。”

“5纳米机型的曝光功率,稳定在250瓦,波动范围不能超正负1%,透镜用的是合成熔融石英,

表面粗糙度得低于0.1纳米。”

姜明顿了顿,刻意略过核心工艺,

“具体怎么做到这么低的粗糙度,目前不方便多讲,属于独家技术。”

他看向陈将军,对方正微微点头,

显然对这个精度很满意。

“6纳米机型的光源波长,和5纳米一样,但数值孔径降到0.28,工作台负载上限,

比5纳米的高15%,适合量产。

曝光功率下调到200瓦,更节能。

透镜加了抗反射涂层,能减少8%左右的光损耗。”

陈将军放下手里的水杯,杯底与桌面碰撞发出轻响,他沉声问道:

“真空系统和光刻胶适配的关键参数,能说吗?

这直接关系到设备,

能不能在现有厂房里安装。”

“真空系统两者都是三级差分泵,真空度能达到****帕,不过泵体的内部结构,

得等后续流程走完再细谈。”

姜明语速平稳,避开核心设计,

“光刻胶方面,

5纳米机型,要适配粘度5-8,6纳米的得用8-12,至于哪种配方的光刻胶最匹配,

现在还不能透露,

这是我们的另一个技术壁垒。”

张工停笔补充,笔尖在“粘度”二字下画了条横线:

“那设备能耗、占地面积,

还有对环境的要求呢?

我们得提前规划厂房,特别是恒温恒湿系统,改造起来耗时不短。”

“5纳米机型额定功耗大概300千瓦,

占地方圆得留120平方米,要单独隔出无尘车间。

6纳米的功耗250千瓦,100平方米就够。”

陈将军眉头微蹙,手指在桌面上轻轻敲击:

“那缺陷检测的精度标准,还有核心算法,能透点吗?

这关系到后期的维护成本。”

姜明摇摇头,语气坦诚:

“陈将军,

缺陷检测我只能保证精度——每平方厘米的粒子数小于0.1个,但具体怎么检测、用什么算法,

这是核心壁垒,

得等你们先验证完我刚才说的这些基础参数,确认能落地,

后续再分阶段说。

现在说早了,反而容易出问题,万一被别有用心的人听了去,

得不偿失。”

他这话既是实情,也是在试探军方的态度。

江老在主位上听着,脸上没什么表情,心里却暗暗点头——这小子虽然滑头,

但在技术保密上拎得清,没白让妍妍跟他。

此时,姜明见会议桌上的众人,都埋着头,笔尖在笔记本上沙沙作响,

认真记录着刚才的内容,便没有打扰。

等所有人都停下笔,抬眼望过来时,他才缓缓说道:

“诸位,

剩下的就涉嫌商业机密了,在没有达成合作的前提下,我只能说这么多。”

说完便一屁股坐回凳子上,腰背往椅背上一靠,

摆出了“到此为止”的架势。

然而,张工与陈将军几人,却瞬间傻眼了——他们正听得入神,

姜明刚刚报出的几个参数,

甚至,已经隐隐解决了,他们研究中卡了几年的难题,可这小子竟以“商业机密”为由,戛然而止,

这让一群搞技术的,哪里忍受得住?

脾气最为暴躁的陈将军,当即猛地一拍桌子,实木桌面发出“哐当”一声闷响,

他瞪着眼怒吼道:

“小子,

你还有没有一点国家情怀?

这点东西藏着掖着,

对得起国家吗?”

这时,坐在对面的妍妍不乐意了,同样“啪”地一声拍在桌上,力道不输陈将军,

怒目瞪着陈将军道:

“陈代表,

请注意你的态度!

我们现在是谈判方的代表,你就是这么对待,合作方代表的吗?”

听到妍妍这毫不留情的话,在场其他人都憋不住了,想笑又得忍着,

个个憋得满脸通红,肩膀微微发颤。

陈将军则一脸幽怨地看向妍妍,语气带着点委屈:

“大侄女,

你就是这么跟你陈伯伯说话的?

就为了这小子,现在都敢冲我嚷嚷了?

那你以后要是真嫁给他,

还不得把我这把老骨头扔出去?”

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