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张师兄在前面引路,带着林飞和苏晚晴穿过一排排仪器和设备,朝着实验室最深处走去。

越往里走,设备的体积似乎越大,噪音也越响。

终于,在实验室的一个角落里,林飞看到了此行的目标人物。

那里摆放着一台极其庞大、结构复杂、充满了各种机械臂、光学镜头、真空管道和电路接口的巨型设备。

它看起来……有点像一台被拆开了外壳、露出了所有内脏和骨骼的超级打印机,或者某种来自科幻电影里的未来装置。

许多地方还能看到手工改装和加固的痕迹,一些非标件明显是自家车铣床加工出来的,带着一种粗犷又硬核的“工程师美学”。

一个身影,正半弯着腰,几乎整个人都趴在了这台庞大机器的一个开口处。

手里拿着一个内窥镜似的带灯光的检测探头,小心翼翼地往里探视着。

他穿着一件洗得发白、甚至沾了些油污的蓝色工装大褂,头发花白,而且和他那些学生一样,显得有些凌乱。

背影看起来并不高大,甚至有点瘦削,但每一个动作都极其稳定和专注。

即使听到有人走近,他也没有立刻回头,只是含糊地嘟囔了一句:“等一下!这个镜组校准有点偏差……老刘,帮我看着点干涉仪读数!”

他显然把林飞他们当成了自己的学生。

旁边一个同样穿着工装、年纪稍长、被称作老刘的副教授模样的人,抬头看到了林飞和苏晚晴。

尤其是气质出众的林飞,愣了一下,连忙轻轻碰了碰那位趴着的老者:“老傅,傅教授!人来了!”

那位老者——傅国生教授,这才有些不情愿地、慢吞吞地直起身,转了过来。

林飞终于看清了他的正脸。

傅教授大约六十岁左右的年纪,面容清瘦,额头和眼角布满了深深的皱纹。

看上去比实际年龄要苍老一些,显然是常年熬夜和殚精竭虑的结果。

但他的那双眼睛,却异常明亮、锐利,充满了智慧的光芒和一种近乎偏执的专注感。

仿佛能穿透一切表象,直抵问题的核心。

他的鼻梁上架着一副老花镜,镜腿上还缠着白色的胶布。

他脸上带着被打断工作的些许不耐,但当他的目光落在林飞身上时,那不耐迅速转化为了一种审视和疑惑。

他上下打量了林飞一番,眉头微微皱起,显然在判断来人的身份和目的。

“傅老师,”苏晚晴赶紧上前一步,恭敬地介绍道,“这位是林飞林总,是学校的重要合作方,专门来拜访您的。”

傅国生教授闻言,花白的眉毛挑了一下,眼神中的疑惑更浓了,他用沾着点油污的手推了推眼镜,声音带着点沙哑和实验室里待久了的干涩:

“林总?合作方?搞投资的?我们这儿不拉赞助,也没东西可展览。要是没事,就别耽误我们干活。”

语气直接,甚至有点冲,毫不客气地下达了逐客令。

典型的学者式直率,或者说……不通人情世故。

旁边的刘副教授一脸尴尬,赶紧打圆场:“老傅!怎么说话呢!这位林总肯定是……”

林飞却笑了,他非但没有生气,反而对这位耿直的老教授好感大增。

他就喜欢跟这种一心扑在技术上、懒得玩虚的人打交道。

他上前一步,无视了傅教授那“生人勿近”的气场,目光落在那台庞大的机器上,眼神里充满了 好奇和赞叹,开口问出的第一句话,就让傅国生教授愣住了:

“傅教授,您这是在调试……EUV光源的收集镜吗?听说多层膜镜面的热变形和污染控制是业界难题,您用的这是……主动冷却加上原位清洁的方案?”

林飞的声音不高,语气平和,但每一个专业名词都像小锤子一样,精准地敲在了傅国生的专业领域核心点上!

EUV光源!收集镜!多层膜!热变形!污染控制!主动冷却!原位清洁!

这几个词从一个穿着休闲装、看起来像个时尚博主或者年轻总裁的“外人”嘴里蹦出来,效果堪比在菜市场听到有人用流利的拉丁文讨论量子力学!

傅国生教授那原本写满“不耐烦”和“送客”的脸,瞬间僵住了。

他推了推滑到鼻梁中间的眼镜,镜片后那双锐利的眼睛第一次真正聚焦在林飞脸上,充满了难以置信的惊愕。

这小子……怎么会知道这些?

EUV?这可不是什么大众科普知识!

还有收集镜的热变形和污染……这更是行业内顶尖团队才会头疼到掉头发的核心难题!

他怎么会……?

愣了好几秒,傅教授才从喉咙里挤出一句,带着浓浓的怀疑和试探:“你……你怎么知道EUV?还知道收集镜?你看过相关论文?”

他的潜台词是:你小子是不是提前做了功课,背了几个名词来我这装大尾巴狼?

林飞笑了笑,那笑容轻松自然,完全没有被质疑的窘迫。

他不仅没回避,反而顺着傅教授的话,往更深处走了一步。

“论文看过一些,ASmL和ImEc的技术报告也略有涉猎。不过纸上谈兵终觉浅,我更好奇傅教授您这边的实践方案。”

“比如,您这套主动冷却系统,是针对镜面基底的热膨胀系数做的梯度材料设计吗?”

“还有原位清洁,是用低能离子束还是脉冲激光?对膜层的损伤阈值怎么控制?”

好家伙!这一连串问题,不仅接住了傅教授的试探,还反手抛出了更具体、更硬核的技术细节!

梯度材料设计?低能离子束?脉冲激光?损伤阈值?

这已经不是背名词了,这简直像是在参加一场顶尖的光学工程研讨会!

傅国生教授的眼睛瞬间瞪大了一圈!脸上的怀疑被巨大的惊讶取代!

这年轻人……不简单!绝对不简单!

能问出这些问题,说明他对EUV光刻的技术难点和可能的解决方案有相当深入的思考!

这绝不是临时抱佛脚能装出来的!

傅教授心里那点“资本家不懂技术”的偏见,开始动摇了。

他收起了一丝轻视,语气虽然还带着点学术大佬的倨傲,但已经不再是纯粹的拒人千里之外了。

“哼,梯度材料成本太高,工艺也复杂。我们用的是多层复合结构,结合微流道主动液冷,成本可控,散热效率也够用。原位清洁嘛……”

他顿了顿,似乎有点得意于自己的独创,“我们没用离子束也没用激光,那玩意儿太娇贵,容易伤镜子。我们搞了一套低压等离子体辅助的热解吸装置,效果不错,就是参数调起来麻烦点。”

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