风华半导体研究院的深夜里,灯光依旧通明。
材料实验室里,李振华教授盯着显微镜,眉头紧锁。旁边的工作台上,散落着几十个玻璃皿,每个里面都装着不同配比的材料样品。有的颜色暗淡,有的表面粗糙,有的已经开裂。
“还是不行。”李教授直起身,揉了揉发酸的眼睛,“第三十七次实验,光谱特性还是达不到要求。”
助手小陈递过来一杯浓茶:“教授,您已经连续工作了十八个小时,休息一会儿吧。”
“没时间休息。”李教授接过茶杯喝了一口,“光源材料是EUV的命门,这个坎过不去,后面的一切都是空谈。”
他看着那些失败的样品,心中涌起一股无力感。在美国的实验室,他有最先进的设备,最纯的原料,最全的数据库。可在这里,设备是二手的,原料要自己提纯,数据要自己积累。每一项实验,都要付出几倍的努力。
“教授,要不要试试那个思路?”小陈小心翼翼地问。
“哪个思路?”
“就是您昨晚说的,用多层薄膜结构,模拟单一材料的特性。”小陈说,“虽然工艺复杂,但至少理论上可行。”
李教授沉思着。这个思路是他昨晚突发奇想想出来的,但实现难度极大。需要精确控制每一层薄膜的厚度,误差不能超过纳米级别。以他们现有的设备,几乎不可能做到。
“设备精度不够。”他摇头。
“我们可以改造设备。”一个声音从门口传来。
张建国走了进来,手里拿着几份图纸:“李教授,你看这个。我们的机械工程师设计了新的夹具和控制系统,能把现有镀膜机的精度提高一个数量级。”
李教授接过图纸,仔细研究。图纸设计得很巧妙,用机械补偿的方式,弥补了设备精度的不足。虽然比不上最先进的设备,但确实有可能实现纳米级的控制。
“谁设计的?”他惊讶地问。
“小王,就是那个提出降频方案的年轻人。”张建国笑道,“他说既然买不到好设备,就把现有的设备改造到最好。”
李教授感慨:“真是江山代有才人出啊。好,就按这个方案试试。小陈,准备材料,我们今晚就做第一次试验。”
“是!”小陈兴奋地跑向库房。
张建国看着李教授布满血丝的眼睛,忍不住劝道:“教授,您还是休息一下吧。这样连轴转,身体会垮的。”
“张总,你不也在连轴转吗?”李教授反问,“我刚才路过光学实验室,看到你带着人在调试镜面抛光机,也是通宵吧?”
张建国苦笑:“没办法,时间不等人啊。韩总那边压力很大,手机业务等不起。我们早一天突破,风华就早一天摆脱困境。”
两人相视苦笑。他们都是经历过困难年代的人,知道什么是“争气”。只是这一次,争的不只是一口气,更是一个产业的未来。
凌晨三点,材料实验室里依然灯火通明。改造后的镀膜机发出低沉的嗡鸣声,机械臂在精密导轨上移动,将一层层薄膜沉积在基片上。
李教授和小陈紧紧盯着监控屏幕,上面的数据曲线如同心跳般波动。
“第一层完成,厚度偏差百分之零点三。”
“第二层完成,厚度偏差百分之零点二。”
“第三层......”
当第十二层薄膜沉积完成时,小陈激动地喊道:“教授,成功了!十二层薄膜,总厚度偏差控制在百分之一以内!”
李教授看着屏幕上的数据,长长舒了一口气。虽然离理想值还有差距,但至少证明这个思路是可行的。
“取样,做光谱分析。”他吩咐道。
半小时后,分析结果出来了。看着光谱曲线,李教授的眼睛亮了:“接近了!虽然还没达到EUV的要求,但比之前的任何样品都接近!”
他立即拨通韩风的电话,尽管现在是凌晨四点。
“韩总,好消息。”李教授的声音因为兴奋而有些颤抖,“我们在光源材料上取得了突破。虽然还没完全成功,但找到了正确的方向。”
电话那头,韩风显然也被吵醒了,但声音立刻清醒:“太好了!李教授,需要什么支持,尽管说。”
“我们需要更纯的原料,还有更精密的检测设备。”李教授说,“另外,我想成立一个专门的工艺组,研究如何把实验室成果转化为量产工艺。”
“没问题。我让苏总全力配合。原料和设备,不计成本,尽快采购。”韩风顿了顿,“教授,您要注意身体。突破很重要,但您的健康更重要。”
“我没事。”李教授笑道,“有了进展,比睡什么觉都解乏。”
挂掉电话,李教授对小陈说:“把数据整理好,明天上午开组会,讨论下一步方案。”
“教授,您不去睡一会儿?”
“睡不着。”李教授看着窗外渐亮的天色,“天快亮了,正好看看日出。”
两人走到楼顶,东方的天空已经泛起了鱼肚白。晨风吹来,带着草木的清香。
“小陈,你后悔回来吗?”李教授突然问。
小陈愣了一下,然后摇头:“不后悔。虽然这里条件艰苦,但做的事情有意义。在美国,我永远是个助手,做的永远是别人分配的工作。在这里,我能参与创造,能见证历史。”
“说得好。”李教授拍拍他的肩膀,“我们这一代人,见证了国家从贫穷到富强。你们这一代人,要见证国家从跟跑到领跑。这是我们的幸运,也是我们的责任。”
太阳从地平线上升起,金色的阳光洒满大地。新的一天开始了,新的战斗也将开始。
同一时间,光学实验室里,张建国和团队也取得了进展。
经过无数次失败,他们终于摸索出了一套独特的镜面抛光工艺。虽然效率很低,但加工出的镜面平整度,已经接近EUV的要求。
“张总,你看这个数据。”一个年轻工程师兴奋地指着屏幕,“表面粗糙度达到了0.1纳米,比我们之前的最好成绩提高了十倍!”
张建国仔细看着数据,心中激动不已。光学系统是EUV的另一个关键,镜面的平整度直接决定了光刻的精度。这个突破,意味着他们离目标又近了一步。
“怎么做到的?”他问。
“我们改进了抛光液的配方,加入了纳米金刚石颗粒。”工程师解释道,“另外,小王设计的那个自适应夹具也起了作用,能实时调整压力,保证抛光均匀。”
又是小王。张建国感慨,这个年轻人真是个天才。不仅在芯片设计上有想法,在设备改造上也有创意。
“通知所有人,上午开庆功会。”张建国说,“虽然离最终目标还有距离,但每一个进步都值得庆祝。”
上午九点,研究院的小会议室里坐满了人。虽然每个人脸上都写着疲惫,但眼中都闪着光。
李教授首先汇报了材料组的进展,张建国汇报了光学组的突破。接着,系统集成组也报告了他们的进展——通过改造多台旧设备,他们搭建了一个简易的EUV原理验证平台,虽然功能不全,但至少能验证各个模块的协调性。
韩风通过视频参加了会议。听完汇报,他沉默了很久。
“各位,”他缓缓开口,“我知道你们很辛苦,知道你们付出了多少。但我想说的是,你们的每一个突破,都不只是技术上的突破,更是信心上的突破。”
“我们证明了,即使条件艰苦,即使设备落后,中国人也能做出世界级的技术。我们证明了,自主创新不是口号,是实实在在的行动。”
他的声音变得坚定:“接下来,我会为你们争取更多的资源,更好的条件。但最重要的是,你们要继续保持这种劲头,这种不服输的精神。”
“芯片这场仗,我们一定要打赢。不为别的,就为证明,中国人能做到,中国民营企业能做到!”
掌声在会议室里响起,经久不息。
会议结束后,韩雪找到哥哥:“三哥,我有个想法。”
“说。”
“我们应该建立一个知识库。”韩雪说,“把所有的实验数据、失败经验、成功案例都记录下来。这样即使有人离开,知识也不会流失。而且能帮助新加入的人快速上手。”
“好主意。”韩风赞赏道,“你负责这件事。不仅要建知识库,还要建立培训体系。我们要培养出一支能打硬仗、能打持久战的队伍。”
“明白!”
离开研究院,韩风的心情好了很多。虽然前路依然艰难,但至少看到了希望。就像在黑暗中行走,终于看到了远处的一丝光亮。
手机响了,是周晓白。
“韩风,今天是小雪儿的生日,你记得吗?”
韩风一愣,随即懊恼地拍了下额头。最近太忙,把女儿的生日都忘了。
“我记得我记得。”他连忙说,“晚上一定回去。你帮我订个蛋糕,要小雪儿最喜欢的巧克力口味。”
“蛋糕我早订好了。”周晓白笑道,“你人能回来就行。小雪儿说,不要礼物,只要爸爸陪她吃蛋糕。”
韩风心中一暖:“我一定回去。”
挂掉电话,他看着车窗外飞逝的街景。这座城市每天都在变化,每个人都在为生活奔忙。而他要做的,就是让这些奔忙的人,能用上自己国家生产的芯片。
这个目标很大,很难。
但他相信,只要方向对,路再远也能走到。
就像此刻,虽然还在黑暗中摸索,但已经有了光的方向。
而这束光,将照亮前路,也照亮这个产业的未来。